暂无数据
半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机（Semi-auto FOUP/Cassette/POD Cleaner）
适用场景：在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥
设备特点：
1、清洗对象：12寸 FOUP
2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成
3、清洗能力：24只 FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）
4、干进干出；
5、可与AMHS对接、可人工上料；
6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；
7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；
8、可预设多条Recipe,操作简洁；
9、选配SECS/GEM接口；
10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；
11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
12、设备外形尺寸：L 4000mm X W 3600mm X H 3300mm
设备特点：
1、清洗对象：12寸 FOUP
2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成
3、清洗能力：24只 FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）
4、干进干出；
5、可与AMHS对接、可人工上料；
6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；
7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；
8、可预设多条Recipe,操作简洁；
9、选配SECS/GEM接口；
10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；
11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
12、设备外形尺寸：L 4000mm X W 3600mm X H 3300mm
关键词：
半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机（Semi-auto FOUP/Cassette/POD Cleaner）
所属分类：
附属湿法清洗设备
12寸Foup Cleaner
产品附件：
咨询热线：
半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机（Semi-auto FOUP/Cassette/POD Cleaner）
产品询价
总部
地址：安徽合肥市经济开发区新桥集成电路科技产业园A座
北京分公司
地址：北京经济技术开发区科创十四街20号院嘉捷号BDA企业汇12号楼3层306室
关注我们
扫描关注公众号